Ионизационные датчики с холодным катодом

Принцип действия ионизационного датчика с холодным катодом заключается в ионизации газа с помощью тлеющего разряда Пеннинга, возникающего при приложении высокого напряжения между катодом и анодом в постоянном магнитном поле. Измеряя полученный ионный ток можно судить о давлении в вакуумной камере. Ионизационный датчик с холодным катодом служит для измерения уровня вакуума в диапазоне от 10-9 до 10-2 мбар. Инверсно-магнетронный датчик AIM является разновидностью ионизационного датчика с холодным катодом и производится компанией Edwards. Он предназначен для работы в паре с контроллером TIC Instrument или ADC Enhanced в диапазоне давлений от 1x10-9 до 1x10-2 мбар.

Диапазон измерений датчиков версий "X" и "XL" увеличен в области глубокого вакуума, а выходной сигнал – линейный. Датчики версий "S" и "SL" имеют слабое внешнее магнитное поле и могут использоваться вместе с чувствительным оборудованием. На инверсно-магнетронных датчиках AIM имеется потенциометр, с помощью которого можно задать необходимые предустановки.