Охлаждение и регулирование температуры
Нагрев насоса происходит за счет увеличения температуры откачиваемого газа в процессе его сжатия до атмосферного давления. Вследствие этого необходимо охлаждение насоса. Edwards использует косвенное охлаждение - в рубашку насоса заливается хладагент, а охлаждение подается на теплообменник, установленный на корпусе насоса. Расход регулируется термостатическим клапаном. Такой подход позволяет заказчику не задумываться о качестве охлаждающей воды.
Используемые материалы
Традиционные вакуумные системы используют либо пар, либо воду или масло в рабочем объеме. Это означает, что откачиваемый объем по своей сути «влажный», и такие условия являются идеальными для возникновения коррозии. Поэтому паровые эжекторы и водокольцевые вакуумные насосы изготавливаются из различных материалов, таких как нержавеющая сталь, сплав хастеллой и даже графит и керамика. С одной стороны это помогает противостоять коррозии, а с другой – значительно увеличивает стоимость оборудования.
Сухие вакуумные насосы Edwards когтевого типа не используют в своей работе какую-либо жидкость или пар в качестве рабочего тела, так как они являются бесконтактными механическими насосами. Соответственно нет необходимости применять специальные материалы в рабочем объеме. Но в то же время есть еще один источник появления жидкости – конденсация. При прохождении паров через насос повышение давления приводит к повышению температуры насыщения.
Ключ к решению проблемы конденсации лежит в термодинамике компрессии.
Механизмы некоторых сухих насосов, например серии EDP, имеют цикл сжатия, который по своей сути адиабатический, т.е. тепло от сжатия используется для увеличения температуры откачиваемых газов и температура газа постепенно увеличивается по мере прохождения через насос. Эффективный цикл сжатия когтевого механизма обеспечивает постепенное увеличение температуры внутри каждой ступени и поэтому межступенчатое охлаждение откачиваемых газов не требуется. При прохождении паров через насос, их температура кипения увеличивается вследствие увеличения давления, в то время как температура самих паров увеличивается таким образом, что бы она всегда была выше температуры кипения. В результате откачиваемые газы внутри насоса постоянно имеют температуру выше температуры кипения и всегда находятся в газообразном состоянии. На последней стадии насоса, где конденсация паров наиболее вероятна, температура газов в когтевом насосе обычно составляет 150-200 градусов. Данный тип насосов имеет внутренний контур охлаждения, с помощью которого имеется возможность регулирования температуры газов на выходе.