Конвекционные вакуумные датчики
Конвекционный датчик является разновидностью теплового датчика и основан на зависимости коэффициента теплопередачи газа от давления. При увеличении степени вакуума, снижается теплопередача, тем самым, нагретая нить отдает в окружающую среду меньше тепла и сильнее разогревается при постоянной мощности. В отличие от датчика Пирани используется конвекционный механизм теплопередачи. Конструкция датчика позволяет отводить тепло с помощью естественной конвекции, что увеличивает интенсивность теплопереноса. При увеличении температуры нити, увеличивается ее сопротивление, таким образом, измеряя сопротивлении нити, можно судить о степени вакуума. Из-за особенностей механизма теплопередачи данные датчики рекомендуется устанавливать в вертикальном положении, фланцем вниз.
Конвекционный датчик APGX-H производится компанией Edwards. Он предназначен для работы в паре с контроллером TIC в диапазоне давлений от 3x10-4 до 1333 мбар.
Конвекционный датчик APGX-H производится компанией Edwards. Он предназначен для работы в паре с контроллером TIC в диапазоне давлений от 3x10-4 до 1333 мбар.