Спиральные вакуумные насосы Edwards nXDS
Спиральный вакуумный насос Edwards
Спиральный вакуумный насос (СПВН) – это механический объемный вращательный насос, в котором движение газа происходит при изменении объема рабочих полостей, образованных между спиралями: подвижной – роторной и неподвижной – статорной.
Конструкция СПВН состоит из следующих основных частей. Двух эвольвентных спиралей: роторной и статорной (1). Между спиралями выдержан небольшой зазор, чтобы при вращении они не касались друг друга, даже с учетом небольшого эксцентриситета. Также в рабочей полости насоса предусмотрено устройство, предотвращающее поворот вращающейся спирали относительно оси вращения, представляющее собой, как правило, кулачковый механизм, смещение осей которого компенсирует величину эксцентриситета. Вал и противоповоротный механизм обеспечивают вращение подвижной спирали.
Одним из наиболее важных элементов конструкции Edwards nXDS, позволяющим назвать данный тип насосов безмасляными, является герметизирующий рабочую камеру элемент. Изначально данный элемент был выполнен в виде манжеты на приводном валу, однако это приводило к тому, что подшипники и противоповоротное устройство находились в рабочей полости насоса.
В современных СПВН используется сильфон (2), герметично соединяющий спиральный элемент и корпус насоса, что позволяет избежать проникновения паров масла в откачиваемый объем и считать СПВН безмасляным. Также в современных моделях применяется дополнительное уплотнение (3).
Воздушное охлаждение осуществляется при помощи вентилятора (4). Подшипниковый узел (5) и двигатель (6) размещены удаленно от рабочей полости для минимизации возможности загрязнения откачиваемого объема.
Конструкция СПВН состоит из следующих основных частей. Двух эвольвентных спиралей: роторной и статорной (1). Между спиралями выдержан небольшой зазор, чтобы при вращении они не касались друг друга, даже с учетом небольшого эксцентриситета. Также в рабочей полости насоса предусмотрено устройство, предотвращающее поворот вращающейся спирали относительно оси вращения, представляющее собой, как правило, кулачковый механизм, смещение осей которого компенсирует величину эксцентриситета. Вал и противоповоротный механизм обеспечивают вращение подвижной спирали.
Одним из наиболее важных элементов конструкции Edwards nXDS, позволяющим назвать данный тип насосов безмасляными, является герметизирующий рабочую камеру элемент. Изначально данный элемент был выполнен в виде манжеты на приводном валу, однако это приводило к тому, что подшипники и противоповоротное устройство находились в рабочей полости насоса.
В современных СПВН используется сильфон (2), герметично соединяющий спиральный элемент и корпус насоса, что позволяет избежать проникновения паров масла в откачиваемый объем и считать СПВН безмасляным. Также в современных моделях применяется дополнительное уплотнение (3).
Воздушное охлаждение осуществляется при помощи вентилятора (4). Подшипниковый узел (5) и двигатель (6) размещены удаленно от рабочей полости для минимизации возможности загрязнения откачиваемого объема.
СПВН отлично зарекомендовали себя в качестве форвакуумных насосов для безмаслянных высоко- и сверхвысоковакуумных насосов таких как турбомолекулярные и геттерные насосы. Также в системах, где требуется регенерация криогенных насосов. Основной отличительной особенностью Edwards nXDS по сравнению с другими вакуумными насосами объемного типа – наименьшие потери на всасывании, что является следствием небольшой скорости газа на всасывании, большого раскрытия рабочей полости, а также малого подогрева газа в связи с отсутствием контакта с нагревающимися частями насоса.
Еще одним немаловажным достоинством Edwards nXDS является достаточно низкое предельное остаточное давление, создаваемое каждой ступенью насоса, по сравнению с другими бесконтактными вакуумными насосами. Это обеспечивается благодаря малым перетеканиями между рабочими полстями насоса протяженными щелевыми каналами между спиралями.
nXDS относятся к классу компактных насосов. По сравнению с поршневыми насосами: при одинаковой производительности габариты nXDS до 35% меньше.
nXDS отличаются пониженным энергопотреблением вследствие полного внутреннего сжатия, отсутствия трущихся частей и рабочей жидкости, создающих дополнительное сопротивление, отсутствия газовых потерь на всасывании.
nXDS отлично зарекомендовали себя в качестве форвакуумных насосов для безмаслянных высоко- и сверхвысоковакуумных насосов, таких как турбомолекулярные и геттерные насосы. Также в системах, где требуется регенерация криогенных насосов.
Еще одним немаловажным достоинством Edwards nXDS является достаточно низкое предельное остаточное давление, создаваемое каждой ступенью насоса, по сравнению с другими бесконтактными вакуумными насосами. Это обеспечивается благодаря малым перетеканиями между рабочими полстями насоса протяженными щелевыми каналами между спиралями.
nXDS относятся к классу компактных насосов. По сравнению с поршневыми насосами: при одинаковой производительности габариты nXDS до 35% меньше.
nXDS отличаются пониженным энергопотреблением вследствие полного внутреннего сжатия, отсутствия трущихся частей и рабочей жидкости, создающих дополнительное сопротивление, отсутствия газовых потерь на всасывании.
nXDS отлично зарекомендовали себя в качестве форвакуумных насосов для безмаслянных высоко- и сверхвысоковакуумных насосов, таких как турбомолекулярные и геттерные насосы. Также в системах, где требуется регенерация криогенных насосов.
